集成電路生產的第一步是通過傳輸電路的模式到基板。光敏聚合物光刻用紫外線照射，成像去除輻照部分。一旦電路圖案固定在光刻膠上，圖案可以通過蝕刻工藝復制到多晶硅等襯底薄膜上，從而形成晶體管柵電路，同時利用鋁或銅實現(xiàn)元件之間的互連，或者利用硅封閉互連路徑。蝕刻的效果是將印刷圖案轉移到基片上，具有較高的精度...
發(fā)布日期：2020-6-24 查看更多>>
真空是一種依靠等離子體激活物質去除表面污漬的清洗設備。它屬于電子工業(yè)的干洗，在真空泵制造過程中制造一定的真空條件以滿足清洗的需要，等離子體的清洗需要主要通過特定的氣體分子在真空、放電等特殊場合，如低壓氣體輝光等。簡單地說，等離子體清洗需要在真空中進行（通常大約100pa），因此需要真空泵。 ...
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plasma等離子表面活化機在處理產品表面活化的應用是一項具有全球影響的重要科學和工程，對高技術經濟的發(fā)展和傳統(tǒng)工業(yè)的轉型具有重要的影響。三分之一的微電子器件采用等離子體技術，90%的聚合物材料都要經過低溫等離子體清洗和等離子體表面處理�？茖W家預測，離子體清洗機、等離子體處理機和等離子體表面處理設備，將在...
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